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HANDBOOK OF X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY

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柏崎 渉*; 河村 和広

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表面分析の手法の1つとして光電子分光法(XPSあるいはESCA)がある。試料に軟X線を照射すると表面から数十A深さでオージェ電子と共に光電子が発生する。この光電子を分光して、含有元素の定性・定量分析及び化学結合状想の分析を行うことができる。このESCAの分析資料として下記のハンドブックが出版されている。資料名(1979)HANDBOOK OF X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY・箸者C.D.Wagner,W.M.Riggs,L.E.Davis,J.F.Maulder,G.E.Muilenberg・出版元 Perkin-Elmer Corporation Physical Electronics Divisionこの資料の内容には理論的基礎から具体的分析例まで含有されており、分析担当者がデータを解析する際に非常に役立つ。今回の和訳によって関係部門で多いに利用されることを期待する。

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