Submicron scale image observation with a grazing incidence reflection-type single-shot soft X-ray microscope
馬場 基芳*; 錦野 将元; 長谷川 登; 富田 卓朗*; 南 康夫*; 武井 亮太*; 山極 満; 河内 哲哉; 末元 徹
Baba, Motoyoshi*; Nishikino, Masaharu; Hasegawa, Noboru; Tomita, Takuro*; Minami, Yasuo*; Takei, Ryota*; Yamagiwa, Mitsuru; Kawachi, Tetsuya; Suemoto, Toru
軟X線光源として波長13.9nm、パルス幅8ピコ秒の軟X線レーザーを用 いたシングルショット斜入射反射型軟X線顕微鏡の開発を行っている。結像光学素子としてフレネルゾーンプ レートを用いることで高空間分解能を達成している。サブミクロンスケールの溝構造をつけたプラチナサンプルの表面を約360nmの空間分解能でシングルショット撮像に成功した。ケーラー照明を用いることで100ミクロンの幅広い空間視野を保ち、また、この軟X線顕微鏡は100ミクロン以上の深さの焦点深度を持つことを確認した。この高空間分解能の軟X線顕微手法により、単一パルスのフェムト秒レーザーによって引き起こされる レーザーアブレーションの過程や表面の微細構造を高空間,高時間分解能で観察することが可能となった。
A grazing incidence reflection-type soft X-ay microscope, using a Fresnel zone plate and a soft X-ray laser with wavelength 13.9 nm and pulse width 7 ps, was developed. Submicron size groove structures made on a Pt film were clearly captured at a single shot exposure, with spatial resolution of about 360 nm. A wide field view of 100 $$mu$$m square was secured under the Kohler illumination. This microscope also had a large depth of focus of more than 100 $$mu$$m and was proven to have a sufficient performance for observing surface morphological changes.
使用言語 : English
掲載資料名 : Japanese Journal of Applied Physics
: 53
: 8
ページ数 : p.080302_1 - 080302_4
発行年月 : 2014/08
出版社名 : 応用物理学会
特許データ :
論文URL :
キーワード : 軟X線レーザー; X線顕微鏡; Soft X-ray laser; X-ray microscope
使用施設 :
広報プレスリリース :
受委託・共同研究相手機関 : 徳島大学東京大学
登録番号 : AA20140159
抄録集掲載番号 : 42000972
論文投稿番号 : 14631
Accesses  (From Jun. 2, 2014)
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